近日華為先是發(fā)布了HarmonyOS 2操作系統(tǒng)，隨后又宣布將HarmonyOS的基礎(chǔ)能力全部捐獻(xiàn)給開(kāi)放原子開(kāi)源基金會(huì)，一時(shí)賺足了眼球。鴻蒙的面世，意味著華為應(yīng)對(duì)安卓禁令“B計(jì)劃”已經(jīng)生效，在操作系統(tǒng)方面，華為從此不再受制于人。

而與此同時(shí)發(fā)生的另一件事，雖然沒(méi)有像鴻蒙那樣引起巨大的關(guān)注，但重要性絲毫不弱于鴻蒙。工商信息顯示，華為的全資子公司哈勃科技，在2021年6月2日完成了對(duì)光刻機(jī)光源廠商科益虹源的注資，持有其4.76%的股份。華為在2019年成立投資平臺(tái)哈勃，專(zhuān)攻半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。對(duì)科益虹源的投資，意味著華為終于要向芯片制造王冠上的明珠——光刻機(jī)——發(fā)起進(jìn)攻。

華為被“卡脖子”，在“軟”的方面是操作系統(tǒng)，鴻蒙已經(jīng)解決了這個(gè)問(wèn)題；在“硬”的方面是芯片制造，進(jìn)軍光刻機(jī)將解決這個(gè)問(wèn)題。重壓之下的華為，用兩年時(shí)間硬是無(wú)中生有的趟出了一條路。

將國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)推向28nm

公開(kāi)信息顯示，科益虹源在2016年由中科院微電子所和北京亦莊國(guó)投聯(lián)合發(fā)起成立，其它股東包括中科院旗下的國(guó)科控股等。這樣的背景，顯示出科益虹源不是一家普通的公司。在哈勃這輪融資之前，科益虹源沒(méi)有進(jìn)行過(guò)增資。一位投資人向我們表示，科益虹源這家公司比較低調(diào)，據(jù)他所知不太接觸財(cái)務(wù)投資人。

科益虹源這家公司的名字極少出現(xiàn)在公眾視野，但從官方披露的直言片語(yǔ)的信息還是不難看出，這是一家在中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上極其重要的公司。

經(jīng)過(guò)這幾年的科普，現(xiàn)在大家都知道了，芯片制造過(guò)程中最關(guān)鍵的設(shè)備是光刻機(jī)。芯片制造是將芯片設(shè)計(jì)在晶圓上實(shí)現(xiàn)的過(guò)程，其中“光刻”的環(huán)節(jié)，即利用光刻機(jī)發(fā)出的激光實(shí)現(xiàn)對(duì)電子線(xiàn)圖的“復(fù)印”，可以占到整個(gè)芯片制造耗時(shí)的40~50%。光刻機(jī)的先進(jìn)程度直接決定了芯片的工藝水平。高端光刻機(jī)不能?chē)?guó)產(chǎn)化，是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)長(zhǎng)期的痛。目前最先進(jìn)的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)來(lái)自上海微電子，只能做到90nm制程，距離28nm以下的先進(jìn)制程還很遠(yuǎn)。

光刻機(jī)的國(guó)產(chǎn)化是復(fù)雜的系統(tǒng)工程，其中光源是核心組件之一，其波長(zhǎng)范圍決定了光刻機(jī)的工藝能力，這正是此次拿到哈勃投資的科益虹源所攻堅(jiān)的“城墻口”。

根據(jù)官方報(bào)道，科益虹源是國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)“準(zhǔn)分子激光技術(shù)”成果的產(chǎn)業(yè)化載體，開(kāi)展浸沒(méi)光刻光源的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)以及產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，進(jìn)入國(guó)際上最高端的DUV光刻光源產(chǎn)品系列。

科益虹源攻克的ArF浸沒(méi)式激光器技術(shù)，可以把國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)一舉推向28nm以下的先進(jìn)制程。這是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的歷史性節(jié)點(diǎn)。采用ArF光源的浸沒(méi)式DUV光刻機(jī)是目前全球使用最廣泛的光刻機(jī)，可以完成45nm-10nm制程的芯片制造，足以應(yīng)付絕大部分使用場(chǎng)景，中國(guó)芯片制造受制于人的局面將得到根本性的改觀。

根據(jù)官方通稿，2018年科益虹源實(shí)現(xiàn)了自主設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)高能準(zhǔn)分子激光器出貨，打破了國(guó)外廠商的長(zhǎng)期壟斷，是國(guó)內(nèi)第一家、全球第三家實(shí)現(xiàn)193nm ArF準(zhǔn)分子激光器量產(chǎn)的企業(yè)。2020年4月，科益虹源集成電路光刻光源制造及服務(wù)基地項(xiàng)目開(kāi)工建設(shè)，投資達(dá)5億元。

2020年11月，上海浦東金融局發(fā)布新聞稿顯示，上海微電子預(yù)計(jì)將于2022年交付首臺(tái)28nm工藝國(guó)產(chǎn)沉浸式光刻機(jī)，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)將從此前的90nm制程一舉突破到28nm制程。這一消息振奮了整個(gè)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界。雖然官方并未確認(rèn)，但業(yè)內(nèi)一般認(rèn)為其光源系統(tǒng)來(lái)自科益虹源。

哈勃在這個(gè)時(shí)間點(diǎn)上投資科益虹源，其意義是不言而喻的。

華為已掏出30億元，用投資再造產(chǎn)業(yè)鏈

華為在2019年設(shè)立子公司哈勃科技，專(zhuān)門(mén)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的投資。兩年來(lái)哈勃的投資規(guī)模急劇膨脹，華為已經(jīng)向哈勃追加了三輪投入。2019年哈勃只有7億元注冊(cè)資本，而在2021年5月31日的增資之后，已經(jīng)增加至30億元的規(guī)模。

在2020年7月，因?yàn)橐粍t“光刻機(jī)工藝工程師”的招聘公告，曾讓坊間熱議華為要做光刻機(jī)了。雖然事后證明這只是一場(chǎng)烏龍，但華為要重造產(chǎn)業(yè)鏈的決心是顯而易見(jiàn)的，這也是“華為要做XXX”一類(lèi)傳言層出不窮的根本原因。可以預(yù)見(jiàn)，華為對(duì)科益虹源的投資不會(huì)僅僅只是投資而已。

目前，哈勃科技已投資了多達(dá)38家公司，投資范圍涵蓋半導(dǎo)體設(shè)備、第三代半導(dǎo)體材料、芯片設(shè)計(jì)等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的各個(gè)環(huán)節(jié)。從這些項(xiàng)目，能窺見(jiàn)華為在半導(dǎo)體領(lǐng)域的投資風(fēng)格，用一句話(huà)概括就是“投資一個(gè)億，訂單十個(gè)億”。在投資的同時(shí)，華為的技術(shù)支持、海量訂單往往也隨后就到。通過(guò)哈勃的投資，華為相當(dāng)于已經(jīng)再造了一條圍繞自身的產(chǎn)業(yè)鏈。

哈勃第一個(gè)完成IPO的項(xiàng)目是模擬芯片廠商思瑞浦，2020年9月正式上市，目前市值超過(guò)400億元，在2019年7月，哈勃投資以7200萬(wàn)元認(rèn)購(gòu)了思瑞浦增發(fā)的224萬(wàn)股股份，投后估值僅9億元。思瑞浦之所以能夠在不到兩年時(shí)間增值40多倍，華為的扶持功不可沒(méi)。在投資的第一年，華為就給了1.7億元的訂單，讓思瑞浦的當(dāng)年的營(yíng)收同比暴增167%。

全球首家量產(chǎn)5G介質(zhì)波導(dǎo)濾波器的生產(chǎn)商燦勤科技也是如此。2018年下半年，燦勤科技在國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)5G介質(zhì)波導(dǎo)濾波器的規(guī)模量產(chǎn)，這是5G基站的關(guān)鍵部件，屬于過(guò)去“卡脖子”的產(chǎn)品，因此引起了華為的注意。哈勃投資接洽要入股，華為的訂單也接踵而至。僅僅憑借5G介質(zhì)波導(dǎo)濾波器這一款產(chǎn)品，燦勤科技就此實(shí)現(xiàn)了公司的脫胎換骨。在2020年，來(lái)自華為的收入占其總營(yíng)收的90%以上。

對(duì)華為而言，這些投資在實(shí)現(xiàn)戰(zhàn)略協(xié)同的同時(shí)，財(cái)務(wù)回報(bào)也非常可觀。前面提到的40多倍回報(bào)的思瑞浦只是一例，在科創(chuàng)板上，一只“華為軍團(tuán)”正在慢慢浮現(xiàn)。6月4日，燦勤科技科創(chuàng)板IPO提交注冊(cè)。5月31日，碳化硅襯底廠商山東天岳科創(chuàng)板IPO申請(qǐng)獲受理。4月15日，儲(chǔ)存芯片廠商?hào)|芯半導(dǎo)體科創(chuàng)板IPO獲得通過(guò)。它們都是哈勃科技在過(guò)去兩年間投資的項(xiàng)目。哈勃真乃“硬科技第一VC”。