近日，半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商上海勵兆科技宣布完成數(shù)千萬元人民幣Pre-A輪融資，并邀請到前愛思強中國區(qū)總經(jīng)理宋偉加入創(chuàng)業(yè)團隊擔(dān)任副總裁。Monolith礪思資本、中芯聚源、臨港科創(chuàng)投參與本輪投資。

勵兆科技成立于2022年8月，位于上海市閔行區(qū)，是一家專注于半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域的射頻和等離子系統(tǒng)供應(yīng)商。

勵兆科技的創(chuàng)始團隊來自海內(nèi)外知名高校和研究機構(gòu)，擁有多年先進半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)經(jīng)驗，超過十年的射頻電源系統(tǒng)研發(fā)和制造經(jīng)驗，在基礎(chǔ)研究，產(chǎn)品開發(fā)，工藝應(yīng)用和市場拓展等多個方面有著深厚的積累。公司首席科學(xué)家是上海交大副教授/博導(dǎo)，曾在美國頂級學(xué)府從事高頻電力電子的研究。

公司副總裁宋偉是前愛思強中國區(qū)總經(jīng)理，畢業(yè)于北航。在加入勵兆科技之前，曾先后在美國維利安(Varian)、美國應(yīng)用材料(AMAT)、美國萬機(MKS)、美國柯狄(Kateeva)和德國愛思強(AIXTRON)等多家歐美知名公司擔(dān)任中國區(qū)總經(jīng)理或銷售總監(jiān)等高管職位。

勵兆科技創(chuàng)始人趙馗表示，勵兆科技團隊在射頻、電力電子、控制和算法技術(shù)上都具有較深積累和完備的布局。高頻電力電子是射頻技術(shù)的一種，其人才在全球都非常稀缺，半導(dǎo)體射頻電源要求兆赫茲級別的電力電子技術(shù)。公司核心成員從2012年便開始深耕這個領(lǐng)域的研究，是國際上為數(shù)不多的華人專家之一。

同時，產(chǎn)品的算法需要和半導(dǎo)體工藝相結(jié)合，需要熟悉等離子體加工工藝，且要有扎實的數(shù)理背景，勵兆科技能很好地結(jié)合客戶的實際工藝需求來研究和優(yōu)化算法。

史密斯圓圖是反射系數(shù)的極座標圖，它是一種求解傳輸線問題的輔助工具，于1939 年由 P.Smith 在貝爾實驗室工作時開發(fā)，正確的使用它，可以在不作任何計算的前提下得到一個表面上看非常復(fù)雜的系統(tǒng)的匹配阻抗，

公司副總裁宋偉表示：“在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)安全要求和實際市場需求的背景下，射頻等離子領(lǐng)域需要一只高質(zhì)量高效率的科學(xué)家背景團隊來盡快突破國內(nèi)技術(shù)的天花板，挑戰(zhàn)并最終超越國際市場上的產(chǎn)業(yè)龍頭。”因此，在產(chǎn)品初步開發(fā)成功后，他便加入了勵兆科技，期望以豐富的市場應(yīng)用經(jīng)驗推動勵兆的快速發(fā)展。

國內(nèi)半導(dǎo)體射頻電源市場大概未來大約有超過50億人民幣的市場規(guī)模。但國內(nèi)公司在半導(dǎo)體射頻領(lǐng)域技術(shù)積累較少，美國MKS、AE，日本Daihen、Kyosan和德國霍廷格等公司壟斷了95%以上的市場份額。

等離子體廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。在現(xiàn)實生活中，等離子技術(shù)已經(jīng)得到各種廣泛運用，尤其在泛半導(dǎo)體制造工藝領(lǐng)域。

目前，除了濕法制程之外，等離子體的應(yīng)用領(lǐng)域幾乎覆蓋了從刻蝕(Etch)，原子層沉積(ALD/ALE)，物理化學(xué)沉積(PVD/CVD)，離子注入(Implant)，干法去膠(Strip)到光刻(Photo)，甚至化學(xué)機械研磨(CMP)的大部分細分半導(dǎo)體制程。等離子體發(fā)生和應(yīng)用系統(tǒng)也就成為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的基礎(chǔ)子系統(tǒng)之一，其他的關(guān)鍵子系統(tǒng)還包括真空系統(tǒng)、流量系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、傳送系統(tǒng)等等。

勵兆科技的主要產(chǎn)品是等離子射頻電源及其配套系統(tǒng)和遠程等離子源(RPS)系統(tǒng)，而這些產(chǎn)品的基本作用就是在相關(guān)半導(dǎo)體工藝設(shè)備中產(chǎn)生等離子體并達成相關(guān)各種工藝。

在每道工序中，等離子體的產(chǎn)生及工作原理都不盡相同。比如大部分先進刻蝕系統(tǒng)，需要射頻電源具備脈沖調(diào)制功能，以便用于刻蝕的等離子體有發(fā)生和中和的過程，可以穩(wěn)定地朝著工藝指定的方向刻蝕；又比如在部分原子層沉積工藝中，為了配合工藝前體氣體脈沖快速釋放的節(jié)奏，射頻電源需要配備復(fù)雜的調(diào)頻功能來快速穩(wěn)定降低射頻反射系數(shù)。

針對這些技術(shù)要求，勵兆科技成立一年便開發(fā)出了13.56MHz系列和400KHz系列射頻電源產(chǎn)品，部分關(guān)鍵性能參數(shù)已達到國際先進水平，比如功率可調(diào)精度在0.1瓦，脈沖頻率從2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合獨有MOFT調(diào)頻功能 (模型導(dǎo)向的自動調(diào)頻技術(shù))，能實現(xiàn)亞毫秒量級的高速阻抗匹配，可以有效地滿足多種工藝的需求，在國內(nèi)率先為先進蝕刻和原子層沉積等工藝提供了可選方案。

同時在遠程等離子源(RPS)領(lǐng)域，公司正在開發(fā)一款可用于12寸晶圓去膠/氧化/清潔等工藝領(lǐng)域的產(chǎn)品，預(yù)計在年底可為關(guān)鍵客戶送樣測試。

勵兆團隊表示，在目前復(fù)雜國際形勢下，從根本上解決國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的整體供應(yīng)鏈安全問題刻不容緩。勵兆科技的愿景是依托自身扎實的產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景，創(chuàng)造一家世界級的中國射頻等離子解決方案企業(yè)。

Monolith礪思資本表示，射頻電源是產(chǎn)生等離子體的核心器件，高性能的大功率射頻電源是國產(chǎn)化先進制程的必要設(shè)備。目前，射頻電源幾乎完全依賴進口，亟需國產(chǎn)化。勵兆科技是國內(nèi)少有的國際領(lǐng)先的研發(fā)團隊，同時又有深厚的上下游產(chǎn)業(yè)積累，對于攻克其中的技術(shù)問題，順利商業(yè)化大有幫助。礪思看好射頻電源方向的國產(chǎn)化前景，相信勵兆能成為未來行業(yè)標桿。