近日，半導體工藝核心裝備消耗性備件研發生產商微睿光電宣布完成數億元B輪融資，本輪由三行資本與石溪資本聯合領投，元禾辰坤、燕創資本等多家機構參與投資。

三行資本投資總監王文川表示：“在泛半導體制造本土化的國家意志和歷史浪潮下，國產核心部件制造商的崛起是大勢所趨。目前設備原廠以及傳統外資配套廠商仍然占據大部分的市場份額，特別是針對泛半導體先進產品和半導體先進制程。微睿光電由國內資深泛半導體團隊創建，實現了核心機臺部件維保和制造工藝的國產化，我們看好團隊借中國泛半導體高速發展的東風，在更多卡脖子產品和技術上取得突破！”

中國泛半導體產能仍處于擴張周期，京東方、華星等客戶都有一座以上LCD工廠的新建或大規模擴產計劃；OLED工廠產能快速釋放，普遍采用7-MASK工藝，對腔室部件的需求量進一步提升；SEMI預計到2022年全球將新建29座晶圓廠，超過一半將位于中國。

CVD、PVD、Dry機臺是泛半導體的主工藝設備，腔室內部件需要周期性的維護再生和新品采購，包括上下部電極、Diffuser、Susceptor、Shadow Frame、Backing Plate等等，涉及工藝包括陽極氧化、陶瓷coating等等，對成膜均勻度、厚度一致性等有非常高的要求，長期以來受制于設備原廠和傳統外資配套廠商的制約。

合肥微睿光電科技有限公司成立于2016年，是在合肥新站高新技術產業開發區投資創辦的高新技術企業。公司主要從事制造并再生LCD、半導體工藝核心裝備的消耗性備件及高性能基座，彌補并改變了國內LCD維修、半導體工藝核心裝備的消耗性備件及高性能基座生產的空白，為中國平板顯示產業鏈的國產化持續貢獻力量。

公司創始人及其團隊與國內核心半導體顯示工廠、晶圓廠和核心組織合作密切，技術專家團隊由多名十年以上海內外行業內資深人士組建，落地能力強，標桿客戶及合作伙伴包括LG、華星光電、京東方、惠科、維信諾等，多款國內首臺套產品已經在客戶端完成了設計、組裝、調試、交付。目前公司授權發明專利超過10件，同時有10件以上的發明專利正在申請當中。