在海光信息發起對中科曙光的收購之后，一筆31億的“A吃A”并購，又在市場中激起波瀾——6月24日，北方華創宣布已經成為芯源微第一大股東，并取得芯源微的控制權。

早在今年3月，北方華創就與芯源微的兩大股東——沈陽先進制造技術產業有限公司、沈陽中科天盛自動化技術有限公司，簽署了股份轉讓協議，受讓二者持有的1906.4915萬股、1689.975萬股股份。

兩次交易金額分別為16.87億元和14.48億元，北方華創合計耗資31.35億元拿下了17.87%的股權（3596.47萬股股份），正式入主芯源微。

這筆交易能夠引起市場關注，與雙方的市場地位不無關系。北方華創不必多說了，它是我國半導體設備龍頭，市值達2300多億。2024年公司創下了業績新高：營收近300億元，同比增長35.14%，凈利潤56.21億元，同比增長44.17%。一舉奪得全球半導體設備廠商第六的名次，也是唯一進入前十的中國廠商。

相比而言，芯源微就要低調得多。雖然只有200億市值，但它卻是國內唯一可提供量產型中高端涂膠顯影設備的企業，也是單片式濕法設備龍頭公司。

這兩家公司聯姻，可以在產品、研發和供應鏈等多個領域發揮乘數效應。不僅提升企業競爭力，也提升我國半導體設備的整體實力。于企業、于股東、于產業都是一件共贏的事。

不過在交易之外，被稱為“遼寧省科創板第一股”的芯源微還有兩處細節引起了我們關注：

第一，芯源微大股東“中科天盛”，是中科院沈陽自動化研究所100%控股的公司。沈自所不僅創立了芯源微，更是遼寧省多家上市公司和科技企業的發起人，堪稱遼寧科創的搖籃之一。

第二，遼寧省的國資機構對芯源微一直鼎力支持，而且有機構在這一項目上賺到約40倍收益，是東北地區科創孵化的經典案例之一。

——這兩條線索，為我們打開了了解遼寧科創生態的窗口。

數據顯示，2020年-2025年上半年，遼寧一共發生了418筆投資事件，融資總額約1900億元。而且在2020年之后，遼寧省企業獲投事件數量逐漸增加。國家大基金二期、北京集成電路并購基金、深創投、華映資本等都紛紛奔赴遼寧下注投資。

而這“投資越過山海關”的新局面，正是遼寧省的科研中心、先進制造產業集群和不斷壯大的國資基金體系共同推動的。

芯源微的故事：科研機構聯手國資

故事還是從芯源微講起。

2000年初，我國半導體裝備產業還是一片空白。服務于國家重大戰略的中科院沈陽自動化研究所（簡稱“沈自所”）決定進入這一領域，突破卡脖子問題。當時沈自所受限于匱乏的技術積累，采取了引進韓國技術，快速切入半導體裝備領域的做法。于是在2002年，聯合韓國STL公司，以中方持股71.43%，韓方持股28.57%的模式，共同設立了芯源微。

執掌芯源微23年的董事長宗潤福就是沈自所的科研人員。1988年，宗潤福在哈工大碩士畢業后到沈自所就職，歷任研究員、室主任、科技處長。2002年12月他作為自動化所的投資方代表，擔任芯源微董事長、總經理。

在早期，芯源微的發展是建立在沈自所的鼎力支持上的。

一方面是沈自所持續不斷地提供科研支持。芯源微才在其幫助下，于2005年突破8英寸凸點封裝設備技術，2007年推出國內首臺12英寸先進封裝涂膠顯影機，打破日本東京電子（TEL）壟斷，逐步在LED和封裝領域打開市場。

另一方面，沈自所利用中科院的資源推動芯源微承擔了多項國家重大科技專項。比如，2008 年芯源微獲批承擔國家“十一五”《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》專項中的“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發與產業化”項目。這是該重大專項支持的唯一家國產涂膠顯影設備企業，為芯源微成為全國中高端涂膠顯影設備龍頭奠定了基礎。

放在當時，承接科研項目更現實的意義在于，芯源微由此獲得了大量的研發經費和補助。這讓芯源微順利度過了入不敷出的創業階段。

宗潤福在一次演講中就回憶說，“2003年到2009年企業年均獲得政府各類科技項目經費、人才項目補助約400萬元，2010年到2012年，由于承擔國家科技重大專項，年均獲政府項目撥款約3000萬元。”這些支持“緩解企業資金壓力，解決了企業研發經費不足、自我供血能力不足的問題。”

可見沒有沈自所的強力支持，從0到1的芯源微要在殘酷的市場中存活下來會異常艱難。

而且沈自所將自身定位為企業的“推動者”，而非“主導者”。在2013年芯源微扭虧為盈后，沈自所逐步降低持股比例，退居幕后，讓芯源微以更市場化的方式發展。

2018 年，芯源微出廠驗證第一臺前道涂膠顯影機，成功切入前道市場，正式成為半導體領域的核心裝備供應商。2019年又成為遼寧省第一家科創板上市公司。

這次北方華創的完成收購，入主芯源微，意味著這家23年的遼寧企業進入一個新階段。而當初沈自所為了解決半導體重要設備卡脖子的問題，推動科技成果轉化的目的也早已經完成。

在沈自所的加持下，芯源微先后吸引了不少國有投資機構注資。

公開資料顯示，2007年，遼寧科發實業參與了芯源微的A輪融資，是除沈自所外最早的投資人之一。這家公司實控人為遼寧省國資委，是遼寧國資體系下的投資平臺。在2007年出資后，科發實業一路陪伴，到目前依然持有10.59%的股份，是僅次于北方華創的第二大股東。

除了科發實業外，遼寧最早的風險投資機構——沈陽科技風投也是芯源微的重要投資人。據和君集團對芯源微的研究報告披露，2015年，國科投資、國科瑞祺、沈陽科投、國科正道四家機構向芯源微投資4296萬元，其中，沈陽科技風投出資了500萬元。

目前工商信息顯示，沈陽科技風投已經實現退出。官方并未披露這筆投資到底賺了多少錢。但根據和君咨詢估算，投資時企業估值約1.93億元，到2021年末“沈陽科投持有的這部分股份市值約2.5億元，六年時間增值達50倍。”

盛京金控的公眾號文章部分印證了上述推斷，它寫道“（科技風投）投資的芯源微、拓荊科技實現國有資本增值30-40倍。”不論是30倍，還是40倍，亦或50倍，這筆投資的收益肯定非常可觀。它應該是東北地區國資機構投資退出的重要案例了。

向先進制造業躍遷的產業生態

芯源微的故事只是遼寧創投生態的一節片段。在片段之外，還有更難廣闊的全景圖。

先回到沈自所。1972年，時任沈自所所長的蔣新松院士，起草了一份“關于人工智能及機器人”的報告呈給中國科學院。后來這份報告推動機器人研究被列入《1978—1985年全國科學技術發展規劃綱要》。在他的帶領下，沈自所研發了示教再現工業機器人，標志著國工業機器人事業的開端。

1987年，中國科學院、國家科委在沈自所設立“863”計劃智能機器人辦公室。之后，沈自所便成為了我國工業機器人的搖籃。

這段科研故事在上世紀90年代末期開始向產業端演化。

2000年，沈自所以蔣新松院士的名字命名，成立了新松機器人，是我國最早從事工業機器人研發的企業。它率先推出全國首臺真空潔凈機器人、首套汽車合裝移動機器人等產品，快速打破了國外企業的壟斷。

2009年，新松機器人在創業板順利上市，創造了“遼寧創業板第一股”的傳奇。目前這家公司的產品已銷往40多個國家和地區，其工業機器人不僅服務于通用、福特等國際巨頭，在新加坡港口等全球樞紐中也運行著大量新松移動機器人。

除了芯源微和新松機器人，沈自所先后參與設立10余家科技公司。

2000年，推動成立了制氧機等醫療器械研發公司新松醫療；2003年，創立工業物聯網公司中科博微；2013年創立了物聯網設備公司中科奧維；2017年成立沈陽智能機器人研究院；2018年創立商業航天公司中科新宇空間智能裝備公司……說它是遼寧科技創新的搖籃，實至名歸。

而且這些企業不斷壯大，還吸引了一大批產業鏈的公司向遼寧聚集。

比如芯源微上市之后，神工股份、拓荊科技、富創精密、連城數控這4家半導體設備公司陸續上市，讓遼寧的半導體設備產業初具規模。新松機器人則吸引了現代輔機、四達高技術、光洋科技、沈陽通用機器人等一批配套企業落地，讓遼寧成為機器人產業高地。

最近兩年，半導體裝備和機器人產業已經是遼寧產業轉型升級、新舊動能轉換的標桿產業了。沈陽機器人與裝備制造集群，也成為了遼寧省第一個國家級產業集群。

值得一提的是，在遼寧有眾多像沈自所這樣的科研中心。中國科學院沈陽分院在遼寧就有大連化學物理研究所、金屬研究所、沈陽應用生態研究所、沈陽自動化研究所等4個研究所，以及沈陽計算技術研究所有限公司、中科儀等2個整體轉制公司。軍工航天領域，在沈陽還有601所、606所、通航研究院等骨干研發機構。而且遼寧省還在持續擴大科研機構的建設，2024年遼寧圍繞重點產業新建了20個重點實驗室群，聚焦未來產業組建9家省基礎科學中心，實施研究項目880個。

另外，遼寧省擁有雄厚的制造業基礎。特別是裝備制造、航天軍工、石油化工等領域在全國執牛耳。去年遼寧新增加三個國家級先進制造業產業集群，分別是“沈陽航空集群”，以沈陽和大連兩座城市為核心的“沈大工業母機集群”，以大連和盤錦為核心的“大盤綠色石化集群”。它們標志著“共和國長子"正從傳統制造業向先進制造業躍遷。

這一過程必然帶來大量創新創業的機會。2025年遼寧省政府工作報告中就披露了一組數據:2024年遼寧新增科技型中小企業6206家、高新技術企業1625家、“雛鷹”“瞪羚"企業940家，融科儲能、東軟睿馳兩家企業新晉為獨角獸企業。

所以，以科研中心為代表的創新策源地，和以產業集群為代表的土壤生態，共同為遼寧科創企業提供了生長環境。

超400筆投資，全國VC投向遼寧

這些企業的誕生與崛起，自然也少不了資本助力。正如沈陽科技風投支持芯源微一樣，遼寧的國資機構，對當地創投生態提供了重要的“燃料”。

先看市一級的機構。沈陽、大連是遼寧創投最活躍的兩座城市。就以沈陽為例，2017年，沈陽設立了沈陽盛京金控投資集團，股權投資就是主要的業務板塊之一。據官方網站披露的數據，盛京金控已經構建了“市投資基金、天使基金、市場化基金”三支百億規模的母基金。通過這三支百億母基金和自有資金，累計投資了230余個項目，投資總額220余億。

沈陽科技風投就是盛京金控旗下單位。它管理著天使投資母基金，是當地早期投資的重要推手。在今年上半年，華德海泰電器、恒久安泰、康奉堡等多家企業都獲得沈陽科技風投的支持。

100億元的沈陽市投資基金，則由盛京資本負責運營管理。官方信息顯示，截至目前，市投資基金已累計開展基金項目20余個，項目總規模120余億元。

100億元的市場化母基金（盛京投資基金）由恒信安泰負責運營管理，目前已受托和發起的母子基金總規模超百億，母子基金投資規模數十億，母子基金投資和招引項目超100個。

再看省一級。2021年12月，遼寧金控集團設立了遼寧基金投資公司。隨后經過1年的籌備，在2022年11月官宣發布了規模200億元的遼寧產業投資基金。該基金被視為助力遼寧振興發展的資本引擎。

不完全統計，遼寧基金已經出資了26支子基金。引起市場轟動的是去年9月份，官宣與招商局集團、中國誠通、中國國新、光大控股四家央企，合作設立的4支產業投資基金，總規模達100億元。當時遼寧基金對外披露說，這四只產業基金的投資方向，涵蓋全省4個萬億級產業基地和22個重點產業集群。標志著遼寧央地合作母、子基金產業化協同投資集群初步形成。

上述省市級國資基金體系，大大推動了遼寧科創投資。

據CVSource投中數據顯示，2020年-2025年上半年，遼寧一共發生了418筆投資事件，融資總額近1900億元。而且在2020年之后，遼寧省企業獲投事件數量逐漸增加。2020年遼寧有71筆股權投資，2022年有75筆，2023年有82筆，2024年有86筆。這種上升趨勢在2025年還在延續。

而且外地資本投向遼寧省項目的案例也在增多。有兩個案例讓我印象深刻。

一個是新松機器人旗下的新松半導體。這家公司成立于2023年，專注于半導體晶圓傳輸專用設備的研發。去年公司完成第一輪融資，吸引了北京集成電路并購基金、國家大基金二期、上海金浦投資、中微半導體、沈陽市科技成果轉化基金等機構的投資。是遼寧半導體設備領域的一顆新星。

另一家是國瑞新材。這家公司不在沈陽也不在大連，而是位于撫順市新賓滿族自治縣。你很難想象一群知名投資機構，到東北如此偏遠的縣城去投資。但是這一幕確實發生了——深創投、華映資本、國泰君安創新投、眾行資本、梧桐樹資本等機構，在今年5月份披露了對這家公司的投資。

后來我查閱了這家公司的產品和業務情況，就不再感到意外了：它生產的等靜壓石墨，已經累計向上百家光伏客戶完成產品銷售，產品直接或間接被隆基、中環、晶澳、協鑫等國內光伏龍頭企業使用。而且還實現了“卡脖子”材料核純級石墨技術突破，推動了核電領域高溫氣冷堆產業鏈的自主可控。目前公司已經通過中核集團產品驗證，成為其核心供應商。

不論是新松半導體還是國瑞新材，都代表了遼寧科創的新勢力。“投資不過山海關”的偏見，可能即將被遼寧蓬勃的創投生態打破。

參考資料：

盛京金控，科技風投再結投資碩果 彰顯國資擔當。

沈陽和君，沈陽芯源微（688037）市值管理分析。

芯源微官方網站。